影响三坐标丈量仪精度的成分，除了三坐标丈量仪自身因丈量精度误差而产生的误差表，还有很多成分可能影响三坐标机丈量的精度，导致三坐标丈量仪误差 。三坐标丈量仪操作员应相识这些成分，以预防影响零件丈量的正确性 。
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